袖珍表面粗糙度儀在集成電路半導(dǎo)體中的應(yīng)用

更新時(shí)間：2022-07-25

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　　袖珍表面粗糙度儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍寬、操作簡(jiǎn)便、便于攜帶、工作穩(wěn)定等特點(diǎn)，可以廣泛應(yīng)用于各種金屬與非金屬的加工表面的檢測(cè)，該儀器是傳感器主機(jī)一體化的袖珍式儀器，具有手持式特點(diǎn)，更適宜在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)使用。外形采用拉鋁模具設(shè)計(jì)，堅(jiān)固耐用，抗電磁干擾，符合當(dāng)今設(shè)計(jì)新趨勢(shì)。

　　被測(cè)零件是平面時(shí)，可以直接把表面粗糙度儀放在被測(cè)零件上，讓表面粗糙度儀探針接觸被測(cè)零件表面，按下表面粗糙度儀測(cè)量按鍵，此時(shí)需要保證表面粗糙度儀不能有任何的晃動(dòng)、或震動(dòng)，手不能接觸表面粗糙度儀和被測(cè)零件，大約10秒鐘后測(cè)量完畢。

　　被測(cè)零件是曲面或凹槽或小孔等不同形狀時(shí)，需要根據(jù)零件形狀要求，選配不同的傳感器探頭和測(cè)量平臺(tái)進(jìn)行測(cè)量，因每個(gè)客戶(hù)的被測(cè)零件形狀不同，故表面粗糙度的檢測(cè)方法也各不相同，需根據(jù)零件詳細(xì)給出測(cè)量方案。

　　測(cè)量工件表面粗糙度時(shí)，將傳感器放在工件被測(cè)表面上，由儀器內(nèi)部的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)傳感器沿被測(cè)表面做等速滑行，傳感器通過(guò)內(nèi)置的銳利觸針感受被測(cè)表面的粗糙度，此時(shí)工件被測(cè)表面的粗糙度引起觸針產(chǎn)生位移，該位移使傳感器電感線圈的電感量發(fā)生變化，從而在相敏整流器的輸出端產(chǎn)生與被測(cè)表面粗糙度成比例的模擬信號(hào)，該信號(hào)經(jīng)過(guò)放大及電平轉(zhuǎn)換之后進(jìn)入數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。

　　隨著袖珍表面粗糙度儀的技術(shù)和功能不斷加強(qiáng)和完善，以及深入的推廣和應(yīng)用，越來(lái)越多的行業(yè)被發(fā)現(xiàn)會(huì)需求粗糙度的檢測(cè)，除機(jī)械加工制造外，電力、通訊、電子，如交換機(jī)上聯(lián)軸器、集成電路半導(dǎo)體等生產(chǎn)加工過(guò)程中也需粗糙度的評(píng)定，甚至人們生活中使用的文具、餐具、人的牙齒表面都要用到表面粗糙度的檢驗(yàn)。

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袖珍表面粗糙度儀在集成電路半導(dǎo)體中的應(yīng)用